該產品系我司針對Veeco 設備設計生產的濾芯，安裝于真空泵前，用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒；
產品特性：
1、采用特殊過濾工藝，分級過濾雜質、有效去除不同大小的顆粒雜質。
2、波紋工藝，有效過濾面積增加，容污能力強，使用周期長。
3、濾料采用進口濾料，具耐高溫、耐腐蝕，長期使用溫度可達250度以上。
4、專用的高精度過濾材料，空隙均勻，過濾精度高，有效保護設備。